氩气回收工作原理：氩气是大规模工业生产制取单晶硅的主要保护气，是安全生产和控制经营成本重视的一个重要方面。将排出含有粉尘杂质的氩气除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。后将净化后的氩气送入使用地点.设备的回收率为90%，氩气纯度可以达到99.999%以上。
单晶硅的氩气回收带纯化系统，单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理，采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃，采用加氢除氧法除去氧，采用吸附法除去二氧化碳及水分，采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢，终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用。
苏州华德公司是从事氩气回收系统研发、生产、销售与服务的高新技术企业。公司拥有“氦氩气回收纯化系统”等多项专利。公司长期致力于高压气源系统集成、惰性稀有气体回收、测试控制系统集成、气体工程检测的数据采集、分析处理、综合应用的技术研究及服务。
氩气回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用，采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高经济效益的有力措施。从改善低碳环境的角度出发，氩气回收也是未来发展中一件很有意义的工作。
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