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同时建议电子洁净车间的防静电区域相对湿度不低于50%。太过于干燥的空气非常容易形成粉尘、颗粒物、细菌病毒的飞扬。
综合多个行业我们总结出温度湿度对无尘车间的影响：
细菌病毒生长；
工作人员感到室温舒适的范围；
发生静电荷；
金属腐蚀；
水汽冷凝；
光刻的退化；
吸水性。
测试无尘车间的洁净度需要施工方的工作人员按照方法去做，洁净度测试方法不正确的话，测试结果是不达标的
无尘净化车间主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。
为维持无尘车间所要求的温度和相对湿度，要对无尘车间的送风进行必要的热、湿处理（冷却、去湿、加热、加湿），就向空调净化系统供冷供热，供蒸汽就要消耗大量的能量。
无尘车间的冷负荷中的主要负荷是新风冷负荷，消除工艺设备和工艺过程产热的冷负荷和抵消风机和水泵发热的冷负荷，这三项负荷占总冷负荷的90%以上；而围护结构、照明和作业人员三项冷负荷不足总冷负荷的10%。
